星空体育登录网址:
公民财讯10月5日电，沈阳新松机器人自动化股份有限公司已具有在真空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列新产品的彻底自主知识产权，自主霸占的新一代真空机械手技能，性能对标国外先进产品，技能目标从比肩世界同种类型的产品到完结部分目标的成功逾越，能够为世界各地的半导体设备供货商供给高效和牢靠的自动化解决方案。
公司为独立开展半导体配备事务，于2023年景立了沈阳新松半导体设备有限公司（简称“新松半导体公司”），新松半导体公司打造了具有彻底自主知识产权的自动化中心系列新产品，产品有大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输渠道，可广泛服务于硅片出产、晶圆加工、先进封装及封装测验等半导体制作全工业链，为客户工业链及供应链安全的安稳供给多元保证。
现在：（1）两轴、三轴真空直驱机械手产品全面导入终端FAB厂，已迈入先进制程产线演示使用阶段；四轴真空直驱机械手已完结自主研制。（2）真空传输渠道系列新产品，包含真空直驱机械手、真空装载机（VPH）、真空预对准机（ALIGNER）已经过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（3）大气类产品方面，现在设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入商场量产使用。（4）零部件方面，集成产品有立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所组成的EFEM产品等已开端模块化及标准化定型，将逐步完结由中心零部件到集成产品的标准化。
声明：证券时报力求信息实在、精确，文章提及内容仅供参考，不构成实质性出资主张，据此操作危险自担
